绿色“芯”动力环保科技如何重塑电子制造与集成电路的低碳未来？

2026年伊始，中国工业绿色发展领域迎来重磅政策红利。1月14日，工业和信息化部等五部门联合印发《关于开展零碳工厂建设工作的指导意见》，明确将电子电器列为重点培育行业，提出到2027年建设一批零碳工厂。与此同时，《废弃电器电子产品处理污染控制技术规范》（HJ 527—2026）于3月1日正式实施，首 次将服务器、智能消费设备等新型电子废弃物纳入管控范围。电子信息领域设备更新的投资门槛也从500万元大幅降至100万元。

这一系列新规的密集落地，释放出明确信号：电子制造与集成电路产业的绿色低碳转型，已从“选答题”变为“必答题”。环保技术不再是产业末端的“清洁工”，而是深度融入生产工艺，成为保障产品质量、提升经济效益、实现绿色转型的核心生产力。

即将于2026年4月13-15日在上海新国际博览中心举办的第27届上海国际环博会上，一批深耕于电子制造领域的环保企业将集中展示他们的创新答案：如何用绿色科技，为高精尖的“中国芯”生产注入全新的低碳动能。

一、定义“芯片血液”的纯净极限：从超纯水到精 准监测

超纯水被誉为电子工业的“血液”，在晶圆清洗、蚀刻、光刻掩膜板制造等环节，水质的好坏直接决定了芯片的良率和性能。面对高端制程对水中杂质近乎苛刻的要求，环保技术正在重新定义“纯净”的边界。

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江苏苏净集团有限公司（N2馆 A20） 将带来其光罩掩膜超纯水处理系统，直击高端掩膜生产依赖进口技术的痛点，实现了最 高等级指标超纯水的国产化应用。这一突破不仅关乎产业链安全，更与《零碳工厂建设指导意见》中“大幅提升能源利用效率”的要求相呼应——国产化替代本身即是降低全产业链碳足迹的重要路径。

恩泰环保科技（常州）有限公司（N1馆 I15） 推出的节能高脱盐型反渗透膜，专为电子超纯水制造设计，以高脱盐率、低能耗及低TOC溶出的特性，从源头上解决了超纯水制备的高能耗难题。这与政策倡导的“能效标杆水平”要求高度契合。

有了高品质的水，如何精 准“看住”它？天健创新（北京）监测仪表股份有限公司（E3馆 C02） 展示了其超纯水高稳定性电导率测量解决方案。该方案针对超纯水在极限测量中信号微弱的痛点，通过优化传感器与算法，在接近18.2 MΩ·cm的极限区间实现了数量级的稳定性提升——这正是《指导意见》所强调的“健全碳排放核算管理体系，实现科学算碳”在微观层面的技术落地。同样，郑州贯奥仪器仪表有限公司（E3馆 D82） 的壁挂式水质在线分析仪，能同时监测pH、电导率、余氯等多参数，以小巧之躯灵活守护各工艺环节的水质安全。

值得一提的是，2026年电子信息领域设备更新政策已将电子测量仪器列为重点支持方向，频谱分析仪、网络分析仪、半导体参数测试仪等高端仪器享有优先支持。这意味着，水质监测仪器的升级改造将迎来政策红利窗口。

二、废水“重生”记：从达标排放到资源回用

电子制造废水成分复杂，富含重金属、酸碱污染物及有机溶剂。如何将其化害为利，实现资源循环，是产业绿色升级的“必答题”。《废弃电器电子产品处理污染控制技术规范》（HJ 527—2026）特别强调，要“加强资源循环利用标准供给”，明确电路板、液晶显示屏等关键产物的利用处置要求。

蓝色起源环境科技（常州）有限公司（N2馆 F26） 的电子制造废水零排放处置工程给出了漂亮答案。其BOEX系列浓缩型MVR蒸发器可将废水直接浓缩，最 高提取99%的蒸馏水回用于生产，处理后的水质COD降低约20倍，真正实现了废水“重生”与近零排放。面对PCB行业高无机磷的清洗废水，潍坊英创环保设备有限公司（N2馆 I90） 的派克汉尼汾喷淋清洗污水处理方案，通过精 准加药沉淀，实现稳定达标。

在过程精 准控制方面，太仓市祥瑞环保科技有限公司（W1馆 A47） 的电镀生产线工艺槽液与综合废水全自动管理方案，通过高精度ORP控制仪联动投加，精 准破解破氰、还原反应中对氧化还原电位控制的极高要求，确保重金属稳定达标。炜测环境科技（上海）有限公司（E2馆 G26） 带来的Aquamonitrix 硝氮亚硝氮同步在线分析仪，基于离子色谱原理，为废水生化处理单元提供抗干扰的精 准数据支撑。

三、洁净生产：守护精密制造的“呼吸”与安全

芯片制造车间需要极 致的洁净环境。高效处理废气、保障空气洁净，是稳定生产与职业健康的双重防线。《半导体制造业空气污染管制及排放标准》对挥发性有机物（VOCs）的定义、集气系统要求、排放削减率计算等作出了详细规定。这意味着，废气处理设施的升级改造已成为合规刚需。

江苏磐硕环保科技股份有限公司（E5馆 D01） 推出的光刻工艺溶剂废气排出离心风机应用方案，不仅输送洁净空气，更能有效促进光刻胶溶剂的挥发排出，其低振动与精 准风量控制特性，完美适配光刻工艺的苛刻要求。这正回应了《零碳工厂建设指导意见》中“通用设备能效达到1级及以上水平”的要求。

面对蚀刻、电镀产生的强酸雾与VOCs，恒驰环保设备（南京）有限公司（E5馆 C22/D21） 提供从收集到处理的完整废气解决方案，采用FRP防腐风机与变频控制，实现高效节能。瑞思泰环保科技（南通）有限公司（E6馆 D01） 则专为蚀刻清洗工序设计了酸雾废气处理工程，宣称净化率超过99%，以专业设计应对严苛环保标准。

在吸附材料领域，萍乡市捷龙环保科技有限公司（E6馆 B57） 的蜂窝状沸石分子筛，凭借净化效率高、耐高温不可燃、寿命长的优势，正成为替代活性炭的理想选择，为VOCs治理提供了更安全、经济的方案。

值得一提的是，2026年电子信息领域设备更新政策对申报项目提出了明确要求：需达到国家能效标准2级以上，旧设备原值不低于新设备投资的10%。这意味着，企业进行废气处理设备升级改造，不仅能满足环保合规要求，还可享受政策补贴红利。

从“芯”出发，共筑绿色智造未来

从一滴水的极限纯化，到一滴废水的资源重生；从一口空气的洁净保障，到一块废弃电路板的规范处置，环保科技正以前所未有的深度融入电子制造与集成电路的每一道工序。它不仅是产业绿色底色的守护者，更是提升产品良率、降低运营成本、增强核心竞争力的价值创造者。

2026年4月13-15日，上海新国际博览中心，第27届上海国际环博会将汇聚这些绿色创新的力量，为您全景呈现环保技术如何赋能电子产业绿色低碳发展。我们诚挚邀请电子制造、半导体行业的同仁们亲临现场，与众多环保先锋一道，探寻“绿色芯”的无限可能，共同见证绿色科技如何为“中国智造”筑牢可持续发展的根基。

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